本报讯（记者李海英）8月20日，科技部副部长曹健林一行来沈阳调研，副市长邹大挺陪同。
当天，曹健林一行来到中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司，听取了沈阳市IC装备研发及产业发展情况的汇报。沈阳市IC装备制造产业基地已形成三类整机、一个自动化系统软件控制平台、一批关键零部件与子系统研发制造及IC装备零部件加工的开发和生产能力，产生了30余项科技成果，掌握了一批关键技术。目前，基地核心设备和零部件已经进入国内主流生产线运行。曹健林对沈阳IC装备研发及产业发展提出了意见和建议。
